轼博产品应用场景

光刻机

定位：纳米级定位的极致追求

工件台：皮米级超高分辨率，基准点自动对准误差＜±20nm

旋转台：角度控制误差≤±0.7myad，最终对准精度±0.2nm

半导体设备

晶圆搬运：±1μm重复定位精度，洁净平稳传输

检测平台：XYθ三轴高精定位，保障缺陷检测与测量准确

工业机器人

关节位置反馈：23/25位绝对式编码器，±0.01mm重复定位

安全碰撞检测：毫秒级响应，异常瞬时停机，保护设备与人身安全

新能源汽车制造

整车产线：IP67高防护，抗振抗冲击，单车约30个编码器

电驱系统：21位+车规级，-40℃~150℃，强抗干扰，提升驾驶平顺性

先进封装

晶圆键合：亚微米级精准对准，保障电气连接性能

封装测试：高稳定高分辨率，确保探针接触与测试结果可靠

伺服系统

核心作用：伺服电机闭环控制基石，电能→机械能高效精准转换

接口支持：EnDat、BiSS、SSI、EtherCAT 等主流工业协议

核心价值：决定自动化设备精度、响应与整体性能上限